こんにちは！
今回は電子線マイクロアナライザーについてまとめてみます。
最後に問題もあるので、良ければ解いてみてください。
それではいってみましょう！
電子線マイクロアナライザーとは？
電子線マイクロアナライザー（EPMA）とは、物質表面の構成元素を定性・定量分析するための分析装置のことです。コンクリート断面内における炭酸化、塩化物イオンの侵入状況、下水道劣化の侵入状況等の面分析に用いられます。
測定目的
微量の腐食物質の侵入状況分析（線分析、面分析）、元素の同定・定量を行うことが目的です。
主な機能は次の通りです。
定性分析：電子ビームが照射されたミクロな領域の元素の存在比率を分析する
定量分析：標準サンプルで検量線を作成しておき、測定サンプル中の元素含有量を調べる
マッピング：試料を縦512×横512に分割して分析し、それぞれの分析結果を一つの絵として表示する
測定方法
EPMAによる調査フローは次の通りです。
サンプルカッティング→鏡面研磨（潤滑剤に水の使用厳禁）→超音波洗浄機によりアセトン洗浄→乾燥→金属蒸着→EPMA分析
試料表面に電子ビームを照射したときに放出される元素に特有の特性X線を検出して利用します。この特性X線が分光器（結晶）にあたって回析分離できる性質を利用して選別するため、EPMAにはWDS（波長分散分光器）があります。
特性X線は、元素によって波長が異なるために各元素の存在を特定でき、X線の強度から存在量を調べることができます。
測定原理については次の通りです。
定性分析の原理：特性X線の波長の分析により元素を同定する
定量分析の原理：特性X線の強度の測定により元素を定量する
面分析（マッピング）の原理：X線分光器を特定の元素に固定し、試料面上を2次元走査することによって元素の分布を把握する
問題
それでは、最後に次の問題を解いてみましょう。
コンクリート構造物から採取した試料に対する分析項目と機器の組み合わせについて、適当か不適当か選択してください。
「硫黄（S）元素の分布を電子線マイクロアナライザーを用いて分析した」
答えは下にスクロールしてください。
正解は適当です。
電子線マイクロアナライザーは元素の分布状態を観察する装置であり、硫黄元素の分布を知ることができます。
それでは、今回は以上になります。
最後までお読みいただき、ありがとうございました。
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